所属栏目：光谱检测系统

发布时间：2024-11-15

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简单介绍：半导体激光退火使用高能量激光束快速照射晶圆，晶圆吸收激光能量并将其转化为热能，导致晶圆局部迅速升温到高温。这种高温状态允许杂质原子在晶格中扩散并占据替代位置，实现激活。在随后的快速冷却允许晶格中的原子重新排列，从而实现所需的晶格结构。